2024年4月23-24日,CIAS2024功率半導(dǎo)體新能源創(chuàng)新發(fā)展大會于蘇州獅山國際會議中心成功舉行。中科匯珠董事長宋華平博士受邀出席本次大會,參加碳化硅襯底與外延制造高層閉門會議,并在大會上作主題演講:基于液相法的SiC材料研究進展,旨在闡明液相法SiC材料的先進性和市場前景。
演講圍繞液相法SiC襯底和外延材料的相關(guān)技術(shù)展開,介紹了液相法生長SiC晶體的優(yōu)勢,尤其關(guān)鍵的是液相法能解決傳統(tǒng)PVT法無法穩(wěn)定制備高質(zhì)量p型襯底和3C-SiC襯底的技術(shù)難題。演講報告展示了公司近期在液相法SiC材料的應(yīng)用上取得的成果,比如外延技術(shù)開發(fā)和器件驗證,為公司后續(xù)深耕p型和3C-SiC外延片領(lǐng)域和應(yīng)用夯實了基礎(chǔ)??偨Y(jié)而言,基于液相法的SiC材料可彌補4H-SiC材料體系的缺點,為器件客戶提供新的技術(shù)路線,有助于推動寬禁帶半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。目前,中科匯珠可對外提供液相法SiC材料(p型襯底上同質(zhì)外延及3C-SiC外延材料),期待與客戶進行深入合作,共同開拓SiC產(chǎn)業(yè)的美好未來。
中科匯珠董事長宋華平博士:基于液相法的SiC材料研究進展
碳化硅襯底與外延制造高層合影
本次會議以“新能源 芯時代”為主題,英飛凌科技(中國)有限公司總冠名;分會場由江蘇宏微科技股份有限公司、北京天科合達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司、瑤芯微電子科技(上海)有限公司、蘇州精創(chuàng)光學(xué)儀器有限公司冠名支持;湖南三安半導(dǎo)體有限責(zé)任公司、株洲中車時代半導(dǎo)體有限公司特邀協(xié)辦,從新能源汽車電驅(qū)與電控行業(yè)、光儲及逆變器行業(yè)、化合物半導(dǎo)體材料行業(yè)、功率半導(dǎo)體行業(yè)、封裝與測試行業(yè)等不同產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié),及行業(yè)戰(zhàn)略、破卷出海、車規(guī)級應(yīng)用、光儲應(yīng)用、環(huán)保封裝、測試等不同角度出發(fā),討論行業(yè)趨勢及創(chuàng)新案例,并攜2024年度金翎獎頒獎禮及超過3500平方米的CIAShow創(chuàng)新展,交流行業(yè)創(chuàng)新。