公司的核心技術(shù)為高質(zhì)量SiC外延量產(chǎn)技術(shù),重在外延各個(gè)環(huán)節(jié)的工藝把控,最終表現(xiàn)為高質(zhì)量和高良率帶來的客戶依賴及利潤回報(bào);創(chuàng)新點(diǎn)在于與器件制造工藝匹配的先進(jìn)外延技術(shù)開發(fā),外延缺陷分析檢測以及延伸的外延設(shè)備核心工藝改進(jìn)。
公司目前已掌握先進(jìn)的碳化硅外延生長工藝,擁有量產(chǎn)各類規(guī)格外延片能力,外延片性能已達(dá)國內(nèi)領(lǐng)先水平,且在高質(zhì)量SiC外延片量產(chǎn)的關(guān)鍵工藝技術(shù)研發(fā)上取得突破,已通過下游器件廠商的多輪流片驗(yàn)證,各項(xiàng)性能指標(biāo)均獲得了下游器件廠商的高度認(rèn)可。
目前公司產(chǎn)出專利合計(jì)13項(xiàng),在未來潛在領(lǐng)域亦有布設(shè)。